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應(yīng)用文章
日立電鏡三維解析方案之L型FIB


日立最新的LFIB NX9000具有獨(dú)特的直角設(shè)計(jì),將FIBSEM鏡筒互相垂直,可以避免因樣品傾斜帶來的形變,從而可以實(shí)現(xiàn)高速高精度的三維重構(gòu)。同時(shí)可以配合EBSD實(shí)現(xiàn)三維分析的功能。

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