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應(yīng)用文章
Atlas在半導(dǎo)體晶圓檢測中的應(yīng)用


晶圓是制造半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)性原材料,經(jīng)過一系列復(fù)雜的半導(dǎo)體制造工藝最后得到芯片成品。在此過程中,對原材料晶圓的品質(zhì)管控就變得非常重要,如對材料成分均勻性、元素含量,微區(qū)的顆粒、劃傷或污染等精密檢測,而Atlas是一款軟件功能強(qiáng)大的微區(qū)X射線熒光光譜儀,準(zhǔn)確度和靈敏度較高,測試速度快,同時又具有動態(tài)觀察、微區(qū)分析、避免直接接觸或破壞樣本的無損分析等優(yōu)勢,能滿足晶圓的分析要求。

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