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應(yīng)用文章
SU9000減速功能及在觀察樣品表面信息中的應(yīng)用


日立SU9000超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡,達(dá)到掃描電鏡世界最高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進(jìn)的真空系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng),不僅分辨率性能明顯提升,而且作為一款冷場發(fā)射掃描電鏡甚至不需要傳統(tǒng)意義上的Flashing操作,可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。

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